プロービングシステム (SIGNATONE PROBING DIVISION)
マニュアルからセミオート機能を搭載したモデルを用意し半導体ICの微細なパターンに直接プロービング可能なシステムです。ユーザーの仕様に応じたシステムを構築できます。また、薄膜等の、抵抗率、膜厚分布を測定アプリケーションのためにシート抵抗測定システムも用意しております。
概要
- 多機能プロービング
- 200～300mmステージ
- PCによる外部遠隔操作
- 100nmプロービング分解能
概要
- ステッピング＆リピート機能
- マッピング機能
概要
- 100mm, 150mm , 200mm
- ウェハステージフルマニュアル構成
概要
- 低価格 85mm and 100mm ウェハ用
概要
マニュアル から3D マッピングまで4端子プロービングにて抵抗率測定
概要
10 GHz ～ 220 GHz RF プロービングヘッド
概要
テストヘッドにダイレクトにプロービングし高速テストノイズフリーテストを実現します
