エミッション顕微鏡

エミッション顕微鏡 (FA Instruments)

テスターやウェハプローバーの上で使用できる廉価版エミッションマイクロスコープです。

エミッションマイクロスコープ

概要

FA Instruments 社製 Crystall visionはディテクタに冷却CCDを採用したエミッションマイクロスコープです。冷却方式は空冷でコンパクトに設計されており、テスタ、プローバ等に簡単に接続できます。
表面、裏面からの観察も可能、容易に持ち運びできるシステムとなっております。

特徴

  • 空冷方式の冷却CCDカメラなので設置場所を選びません
  • 高感度CCD採用、赤外域での波長も取り込めます
  • ヒストグラムと映像を数値化できます
  • プローブステーション用ソフトウェアにビデオ信号出力可能
  • 顕微鏡ステージモーター動作可能(オプション)
  • レーザー光源を用いて、ライブイメージでの裏面観察が可能
  • 外部からのノイズを低減させるフィルター機能搭載
  • レーザー光源の出力調整可能
  • 低価格

テスタ、マニュアル、フルオートプローバに簡単に接続できます


レーザー光源を用いた裏面からの画像

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