プロービングシステム

プロービングシステム (SIGNATONE PROBING DIVISION)

マニュアルからセミオート機能を搭載したモデルを用意し半導体ICの微細なパターンに直接プロービング可能なシステムです。ユーザーの仕様に応じたシステムを構築できます。また、薄膜等の、抵抗率、膜厚分布を測定アプリケーションのためにシート抵抗測定システムも用意しております。

checkmateシリーズ

概要

  • 多機能プロービング
  • 200~300mmステージ
  • PCによる外部遠隔操作
  • 100nmプロービング分解能
CheckMate
S-460セミオートマティックプロ―ビングシステム

概要

  • ステッピング&リピート機能
  • マッピング機能
S-460
マニュアル解析用プロ―ビングシステム

概要

  • 100mm, 150mm , 200mm
  • ウェハステージフルマニュアル構成
マニュアル解析用
H-100シリーズハイブリッドプロ―ビングシステム

概要

  • 低価格 85mm and 100mm ウェハ用
H-100
4端子抵抗率測定システム

概要

マニュアル から3D マッピングまで4端子プロービングにて抵抗率測定

4端子プロ―ビング
RFブロービングシステム

概要

10 GHz ~ 220 GHz RF プロービングヘッド

RF
TH760テストヘッドダイレクトプロ―ビングシステム

概要

テストヘッドにダイレクトにプロービングし高速テストノイズフリーテストを実現します

TH760テストヘッド

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